客製化靜電消散類鑽碳(ESD-DLC)膜層

因應先進半導體製程中線寬微縮化（< 20 nm）所帶來的靜電損害風險，漢泰∕信紘科技∕工研院三方產研合作，結合高階PVD技術與改良式磁爐電弧離子系統，共同研發表面改質類鑽碳膜層(ESD-DLC)，克服現有產品靜電無法消散、壽命短、成本高與技術依賴外部等問題。

DLC膜層表面阻抗值介於10^5~10^10ohm/sq，符合 ANSI/ESD S541 靜電消散材料分類標準。

主要應用於各式金屬載具、工件表面，提供長效、穩定的靜電消散功能。